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洁净室系统工程服务
二次配工程

又称“HOOK UP工程”,是指在半导体、TFT-LCD、LED、太阳能、光纤、制药、电子等行业中,以生产机台为服务对象,从厂务各系统管道所预留的配电柜、阀门、阀门箱开始施工,通过电缆、管道连接至生产机台,把厂务系统的动力源按照工艺要求的参数持续不断的输送至使用点。根据工艺要求,可以在系统中设置隔离阀门、调压装置、过滤装置、流量控制装置等。二次配系统主要包括机台供电/Power、设备基础/foundation、排风/Exhaust、大宗气体/Bulk gas、特殊气体/Special gas、化学品/Chemical、制程冷却水/PCW、超纯水/UPW、制程真空/PV、真空泵管道/Pumping line、废水/Drain、市政供水/City water 、天然气/Nature gas等。

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