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洁净室系统工程服务
洁净室系统设计

工艺平面布局规划,室内热湿负荷计算,净化通风系统设计,工艺排风设计,给排水设计,工艺气体设计,纯水设计,二次配设计,电气设计,自控设计

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内装结构系统

(1)洁净室天花板系统:包括吊杆(Ceiling rod)、钢梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid),聚苯乙烯夹芯彩钢板,岩棉夹芯彩钢板,聚氨酯夹芯彩钢板,纸蜂窝夹芯彩钢板。

(2)洁净室隔间:包括净化彩钢板、单层窗,双层密闭窗、洁净彩钢板门、洁净钢质门,洁净不锈钢门,传递箱、风淋室、货淋室等。

(3)洁净室地板:包括铝合金/全钢防静电高架地板,普通/防静电PVC地板、普通/防静电环氧自流平地面等。

(4)洁净室灯具:吸顶式净化灯,嵌入式净化灯,泪珠式净化灯,黄光灯净化灯,紫外线灯,灭虫灯,应急疏散指示灯等。

内装结构

净化空调系统

针对不同工艺需求,洁净度需求,采用合适的净化空调系统和气流组织方式。空调系统解决方案:组合式空气处理机组(AHU)+高效送风口(GFK)和新风处理机组(MAU)+风机过滤单元(FFU)+干盘管(DC)。送风方式解决方案:上送下侧回风(非单向流型),上送上回风(非单向流型),垂直流上送下回风(单向流型),水平送回风(单向流)。

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工艺排风系统

热排风,除尘排风,酸雾排风等。 一般排风,热排风,解决方案 :不锈钢排风罩+镀锌钢板矩形风管+排风机+排风防雨罩; 酸雾,腐蚀性气体排风解决方案:不锈钢/UPVC/PP材质排风罩+不锈钢/UPVC/PP材质圆形/矩形风管+耐腐蚀排风机/玻璃钢排风机/PP排风机+排风防雨罩;除尘排风解决方案:不锈钢排风罩+镀锌钢板矩形风管+除尘排风机+粉尘回收装置;

工艺管道

空调冷冻水/冷却水系统管道,工艺冷却水(PCW)系统  工艺纯水(DI)系统

大宗气体输配系统

大宗气体是指半导体、TFT-LCD、LED、太阳能、光纤、制药、电子等行业中使用量较大,需要集中供应的惰性气体,如CDA、N2、O2、Ar、He等。

大宗气体输配系统是指将大宗气体从气站通过供应管道输送至生产厂房,再由生产厂房中预留的阀门通过二次配管连接至生产机台。管道上可以安装阀门、调压装置、过滤装置等,以满足生产工艺对大宗气体压力、流量和纯度的要求。我方可以提供整个系统的设计、材料采购、工程施工、系统测试、运行管理等一整套的服务。

配电自控系统

配电箱设计制作,设备配电,照明插座,洁净室自控,在线尘埃粒子计数监测等。

二次配工程

又称“HOOK UP工程”,是指在半导体、TFT-LCD、LED、太阳能、光纤、制药、电子等行业中,以生产机台为服务对象,从厂务各系统管道所预留的配电柜、阀门、阀门箱开始施工,通过电缆、管道连接至生产机台,把厂务系统的动力源按照工艺要求的参数持续不断的输送至使用点。根据工艺要求,可以在系统中设置隔离阀门、调压装置、过滤装置、流量控制装置等。二次配系统主要包括机台供电/Power、设备基础/foundation、排风/Exhaust、大宗气体/Bulk gas、特殊气体/Special gas、化学品/Chemical、制程冷却水/PCW、超纯水/UPW、制程真空/PV、真空泵管道/Pumping line、废水/Drain、市政供水/City water 、天然气/Nature gas等。

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